提拉式单晶炉绍兴越城真空流量计的厂家加热后工件随炉冷却 C． 井式炉 D． 罩式炉（主要用于退火，加热罩可吊移） E． 底升式罩式炉（罩子固定，升降底座，适用于大型炉子）F． 转筒式炉 G． 密封箱式炉（又称为多用炉，可进行渗碳，光洁淬火，碳氮共渗等热工艺。采用辐射管加热，辐射管是由耐火陶瓷盘固定的电阻丝装于一个密封耐热钢管中。用作退火之用周期式电阻炉的分类A． 箱式炉 B． 台车炉（分为自行式和牵引式）这样的结构使炉内气氛对加热元件不会有影响）。上覆坩埚盖2的坩埚3，坩埚为钨坩埚，坩埚下面的支柱为钨支柱，为了保温坩埚盖2上覆保温屏9；
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然后从 该炉上端充入氩气。工作时，炉内的石英坩埚上方不断有一氧化硅和粉尘 杂质生成，因此在不断充入氩气的同时，所述真空泵同时将一氧化硅，粉 尘杂质与氩气等的混合气体排出，其中，气体的流动过程为从石英坩埚上 方经坩埚支持器14与发热体16之间的间隙，以及发热体16与保温筒17 之间的间隙流入气流导向装置20。由设于排气口 13上的真空泵将炉内空气排尽在该炉工作前然后经图6中的气流导向装置20的一对 通气孔2-3既有效地防止了一氧化硅气体对 加热器7和坩埚支持器14等石墨器件的腐蚀，还可有效防止杂质粉尘吸附 在这些石墨器件上，从而确保了该炉的使用寿命。气流导向装置20的一对 通气孔2-3与该炉的一对排气口 13相对设置，缩短了排气管路的长度，利 于提高排气效率。硅中易挥发的杂质元素；定向凝固由于其单向散热的特点, 能够得到连续生长的柱状晶凝固组织。本研究以低成本工业硅制得高纯多晶硅锭为目的，自行研制了一台将真空感应熔炼技术与定向凝固技术相结合的试验装置，并在此基础上进行了工业硅的真空感应熔炼及定向凝固试验，利用金相显微镜和电感耦合等离子体发射光谱仪对样品进行了分析。
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在能源和环保两大驱动力的作用下，全球光伏产业年平均增长超过30%。光伏产业用多晶硅锭是以高纯多晶硅为原料定向凝固铸成，而高纯多晶硅的主要方法---西门子法--- 能耗大、污染重，且此方法的关键技术一直由美、日、德三国垄断，不向输出。我国的高纯多晶硅只能依赖大量进口，但远不能满足市场需求，导致光伏产业的发展受制于人，因此发展具有自主知识产权的多晶硅生产新技术迫在眉睫。分子泵，真空泵，真空流量计，plc编程，控制屏，离子泵，涡轮分子泵，螺杆真空泵，涡旋高真空泵，结合硅单晶过程中热质输运的分析，采用实验和数值分析相结合的方法，以大直径硅单晶为主要研究对象，研究热场结构，控制参数和外加磁场对大直径硅单晶生长的影响。通过数值分析的手段，研究了结构参数和控制参数对晶体生长特性的影响，确定了晶体的工艺条件。
